
一、芯片工廠的特殊性與核心需求
極致的環(huán)境控制:對(duì)溫度、濕度、潔凈度(顆粒物)、振動(dòng)、靜電有極其嚴(yán)苛的要求。
連續(xù)不間斷生產(chǎn):7x24小時(shí)運(yùn)行,任何系統(tǒng)中斷都可能導(dǎo)致巨額損失。
絕對(duì)的生產(chǎn)安全:涉及核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)、昂貴設(shè)備和危險(xiǎn)化學(xué)品,安防等級(jí)要求極高。
復(fù)雜的能源管理:是能耗大戶,節(jié)能降耗直接關(guān)乎運(yùn)營(yíng)成本。
嚴(yán)格的合規(guī)與追溯:需符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)等行業(yè)規(guī)范,實(shí)現(xiàn)全生產(chǎn)流程的可追溯性。
二、芯片工廠弱電智能化整體架構(gòu)
芯片廠的弱電系統(tǒng)是一個(gè)緊密集成、深度定制的一體化平臺(tái),其架構(gòu)比普通建筑復(fù)雜得多。
1、生產(chǎn)管理層,核心系統(tǒng)與功能MES,EAP,YMS,關(guān)鍵芯片與技術(shù)應(yīng)用服務(wù)器CPU/GPU,數(shù)據(jù)庫(kù)軟件。
2、運(yùn)營(yíng)指揮層,FAB廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng), 中央集成管理平臺(tái) 工業(yè)級(jí)服務(wù)器/網(wǎng)關(guān),邊緣計(jì)算平臺(tái)
3、區(qū)域控制層,專用子系統(tǒng)(如:SCADA,BA,安防平臺(tái)),工業(yè)以太網(wǎng)交換機(jī),PLC,控制器。
4、感知執(zhí)行層,各類傳感器、執(zhí)行器、智能終端,高精度傳感器芯片,工業(yè)MCU,AI IPC SoC, 特種通信芯片。

三、核心子系統(tǒng)解決方案
1、廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)
這是芯片廠弱電系統(tǒng)的“生命線”,負(fù)責(zé)維持生產(chǎn)所需的核心環(huán)境。
?環(huán)境監(jiān)控
潔凈室監(jiān)控:通過(guò)高精度溫濕度、壓差、懸浮粒子傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈室等級(jí)(如ISO 1-5級(jí))。芯片能檢測(cè)到0.1μm甚至更小的顆粒物。
振動(dòng)監(jiān)控:在關(guān)鍵設(shè)備(如光刻機(jī))周圍部署微振動(dòng)傳感器,防止振動(dòng)影響曝光精度。
芯片技術(shù):MEMS傳感器芯片、高精度ADC轉(zhuǎn)換芯片、低噪聲信號(hào)調(diào)理芯片。
?動(dòng)力設(shè)施監(jiān)控
純水/超純水系統(tǒng):監(jiān)控水質(zhì)電阻率、流量、壓力。
大宗氣體/特殊氣體系統(tǒng):監(jiān)控氣體壓力、流量,并對(duì)有毒、可燃?xì)怏w進(jìn)行泄漏檢測(cè)和報(bào)警。
真空系統(tǒng):監(jiān)控真空度。
芯片技術(shù):特種氣體傳感器芯片、壓力傳感器芯片、流量計(jì)芯片。
?能源管理系統(tǒng)
對(duì)PCW、CDA、電力系統(tǒng)等進(jìn)行分項(xiàng)計(jì)量。
通過(guò)AI算法分析能耗數(shù)據(jù),優(yōu)化冰機(jī)、水泵等大功率設(shè)備的運(yùn)行策略,實(shí)現(xiàn)節(jié)能。
芯片技術(shù):高精度電能計(jì)量芯片、帶通信功能的智能電表SoC。

2. 安全防范系統(tǒng)
芯片廠的安防是最高級(jí)別,分為物理安防和信息安防。
?人員出入管理
多因子認(rèn)證:采用“刷卡 + 生物識(shí)別(掌靜脈/人臉) + 密碼”的組合方式。核心區(qū)域(如光刻區(qū))需設(shè)置防尾隨通道。
芯片技術(shù):AI SoC(用于人臉/掌靜脈識(shí)別終端)、安全MCU(用于門(mén)禁控制器和智能卡)。
?智能視頻監(jiān)控
全覆蓋無(wú)死角:生產(chǎn)區(qū)、通道、周界、化學(xué)品庫(kù)等全域覆蓋。
AI行為分析:
區(qū)域入侵檢測(cè):對(duì)限制區(qū)域進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
行為規(guī)范檢測(cè):檢測(cè)人員是否穿戴潔凈服規(guī)范、是否進(jìn)行違規(guī)操作(如奔跑)。
主動(dòng)預(yù)警:發(fā)現(xiàn)異常,系統(tǒng)主動(dòng)報(bào)警并聯(lián)動(dòng)門(mén)禁鎖閉相關(guān)區(qū)域。
芯片技術(shù):高端AI IPC SoC(如海思、安霸的高性能芯片),支持高分辨率、低照度和復(fù)雜AI算法。
?周界入侵報(bào)警
采用光纖振動(dòng)、紅外對(duì)射、電子圍欄等多種技術(shù)融合的方案,確保周界安全。
芯片技術(shù):信號(hào)處理DSP、微控制器MCU。

?訪客與物料管理
訪客系統(tǒng)與門(mén)禁、監(jiān)控聯(lián)動(dòng)。
物料(特別是晶圓盒)通過(guò)RFID進(jìn)行全程追蹤。
芯片技術(shù):RFID讀寫(xiě)器芯片、UHF RFID標(biāo)簽芯片。
3. 網(wǎng)絡(luò)與通信系統(tǒng)
?高可靠網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)
物理隔離:辦公網(wǎng)、生產(chǎn)網(wǎng)、廠務(wù)監(jiān)控網(wǎng)嚴(yán)格物理隔離或通過(guò)防火墻邏輯隔離。
工業(yè)以太網(wǎng):采用環(huán)網(wǎng)拓?fù)?如RSTP/MRP),具備毫秒級(jí)自愈能力,確保網(wǎng)絡(luò)不間斷。
芯片技術(shù):工業(yè)級(jí)以太網(wǎng)交換芯片,支持寬溫、高抗干擾性。
?無(wú)線覆蓋
在非潔凈區(qū)部署Wi-Fi 6/6E,用于移動(dòng)巡檢、AGV調(diào)度等。
在潔凈區(qū)內(nèi)需謹(jǐn)慎部署,避免信號(hào)干擾精密設(shè)備。
芯片技術(shù):工業(yè)級(jí)Wi-Fi芯片、5G CPE模組(用于廣域連接)。
4. 智能樓宇控制系統(tǒng)
潔凈空調(diào)機(jī)組監(jiān)控:精確控制溫濕度和風(fēng)量壓差。
照明控制:根據(jù)工作和作息時(shí)間,自動(dòng)控制公共區(qū)域和廠務(wù)區(qū)照明。
芯片技術(shù):DDC控制器(內(nèi)置工業(yè)級(jí)MCU)、智能照明驅(qū)動(dòng)芯片。
四、芯片工廠弱電智能化解決方案特色
超高可靠性與冗余設(shè)計(jì):從網(wǎng)絡(luò)、服務(wù)器到控制器,關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)均采用冗余配置(雙機(jī)熱備、冗余電源、環(huán)網(wǎng)),滿足7x24小時(shí)運(yùn)行。
深度集成與聯(lián)動(dòng):各子系統(tǒng)不再是信息孤島。例如,火警系統(tǒng)可聯(lián)動(dòng)關(guān)閉氣體閥門(mén)、打開(kāi)排煙窗;門(mén)禁事件可與視頻監(jiān)控實(shí)時(shí)聯(lián)動(dòng)彈出畫(huà)面。
數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)決策:將所有弱電系統(tǒng)數(shù)據(jù)匯聚到中央平臺(tái),通過(guò)大數(shù)據(jù)分析,為能效優(yōu)化、產(chǎn)能提升和安全管控提供數(shù)據(jù)支持。
百實(shí)科技芯片工廠的弱電智能化解決方案是一個(gè)集成了環(huán)境工程、自動(dòng)化技術(shù)、IT技術(shù)和芯片技術(shù)的復(fù)雜系統(tǒng)工程。它不僅僅是設(shè)備的堆砌,更是通過(guò)數(shù)據(jù)融合和智能算法,為芯片制造這一“尖端精密工業(yè)”提供一個(gè)安全、穩(wěn)定、潔凈、高效和可追溯的終極運(yùn)營(yíng)環(huán)境。
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